型號：AT-200MPlus（等離子體增強+熱原子層沉積）

技術參數：

· 尺寸 (L*W*H): 35.5*38.1*56.8cm

· 粉末涂層可選 (容量可達～ 10cm^3)

· 可放置2英寸×2英寸×3英寸或兩個2英寸圓片(可定制的卡盤和我們的粉末涂層選項)的樣品

· 3個前驅體端口 (1 個 MFC,2 個罐 ), 6個可選端口 (最多2個MFC, 4個罐),帶高達 150℃的伴熱管路 (HT套件至180℃)

· 帶空心陰極等離子體 (13.56RF, 80W)

· 通風前驅體外殼

· 耐高溫的快速脈沖ALD閥門，配備超快MFC進行集成惰性氣體吹掃-標配

· 全不銹鋼腔室，溫度范圍可達300℃

· 靜態反應模式下可實現高覆蓋

· 帶集成PLC控制的5英寸顯示屏

· 包括終身軟件升級

· 1 年保修

     選項 ：真空泵，4個端 口，臭氧發生器 (AT-03), 瓶加熱器，QCM, 遠程 PC控制，ALD前驅體， 手套箱， HT套件 (前驅體至180°C), 起泡器， 粉末噴涂機，加熱卡盤 (至 450℃)

設備特點：

1. 臺式ALD原子層沉積，占地面積小；

2. 熱型并且可升級等離子體加強功能；

3. 可以選配粉末包裹功能，特別適合電池研究領域的客戶；

4. 體積到可以直接放到手套箱里面操作，特別適合電池研究領域的客戶；

5. 操作安裝極其簡單，便于實驗室不同人員操作實驗。

應用領域：

特別推薦在能源領域的應用

1. 鋰離子電池領域的應用

原子層沉積(ALD)由于其共形沉積和簡單精確的膜厚控制特點，在納米結構的納米級薄膜包裹方面有著巨大的優勢和應用前景。大量的研究表明，采用ALD對電極材料進行納米級薄膜包裹，能夠有效地改性電池材料、提高電池性能。除此之外，ALD還可以用來合成制備鋰離子電池的正極、負極和固態電解質材料。

2. ALD在太陽能電池領域的應用

ALD技術在太陽能電池領域的應用主要包括:①納米結構光電極的制備;②電極表面修飾鈍化;③通過量子點或是金屬納米顆粒對電極表面進行敏化;④對染料敏化太陽能電池和薄膜太陽能電池進行能帶調控。

3. ALD在超級電容器領域的應用

ALD技術不僅能夠用來制備高比容量的電極活性材料，也能制備納米結構,穩定和提升電極材料的性能，在高容量、高穩定的超級電容器領域發揮出重要的作用。

4. ALD在燃料電池領域的應用

ALD在燃料電池領域有著廣泛的應用:可以通過調節金屬催化劑的成分(如雙金屬納米顆粒)、金屬納米顆粒的大小來獲得適用于燃料電池的高活性催化劑;②在納米結構上沉積金屬顆粒來制備燃料電池的陽極;③制備高性能的固體電解質，以降低燃料電池的工作溫度;④在電極表面形成保護層提高電池的穩定性和性能。

5. ALD在光電化學分解水領域的應用

ALD技術由于其生長特性，不僅可以制備光活性層，還可以在光電極上沉積性能增強層或穩定層，解決了影響光電化學電池分解水領域的一些難題。